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  • 智能型HMDS真空系統(JS-HMDS90-AI)
  • 潔凈烘箱,百級無塵烘箱
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  • HMDS預處理系統(JS-HMDS90 )
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桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐 真空無氧烤箱
    發布時間: 2025-03-11 16:09    

桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐 真空無氧烤箱

   桌上型無氧固化爐是一種專為高精度電子元件、IC/芯片、PI/BCB/CPI/BPO等膠水等材料設計的緊湊型固化設備,結合無氧環境與高效加熱技術,確保材料在固化過程中避免氧化。以下是相關產品的綜合信息:

一、桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐 真空無氧烤箱類型與特點

  1. 真空無氧固化爐

  2. 采用真空環境與充氮技術,確保無氧條件,適用于PI膠、BCB膠等高精度材料固化。

  3. 支持PLC全自動控制,溫度范圍可達400℃以上,內膽采用SUS304/316不銹鋼材質,確保潔凈度與耐用性。

  4. 智能型無氧烘箱

  5. 集成智能烘箱管理系統,支持TCP/IP協議對接工廠系統,實現自動化烘烤。

  6. 潔凈等級高,含氧量可控制在10ppm以下,適合IC晶圓、MEMS等無塵環境應用

  7. 小型桌面型設備

  8. 緊湊設計,實驗專用。

    使用微量氮氣,耗氣量***,無需冷卻水。




二、核心參數與配置

  • 適用產品:1-8寸晶圓、方片或碎片

  • 溫度控制?:RT+50–400℃

  • 溫度波動度:≤±1℃

  • 氧含量:含氧量可低至10ppm以下,配備進口氧含量分析儀實時監測

  • 升溫速率:1-10℃/min,速率可調

  • 升溫方式:多段程控式,支持20段程序升溫

  • 降溫速率:輔助降溫

  • 真空度:≤ 1torr

  • 氣體系統:自動控制充氮閥門+可調式流量計

  • 排 氣 口:KF16
    真空泵:渦旋干泵(進口)

  • 結構設計:內膽為優質不銹鋼,全周氬弧焊無縫處理,外箱保溫材料超細陶瓷纖維

  操作界面:人機界面+PLC,可一鍵運行,多個工藝編輯


三、桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐 真空無氧烤箱典型應用場景?

  • 電子制造:IC封裝、晶圓固化、指紋識別模組等無氧環境下的膠水固化。

  • 精密材料:PI膠、BCB膠、導電膠的真空無氧固化,避免氧化導致的性能劣化?。

  • 實驗室研發:小型桌面設備適合實驗室小批量樣品處理,快速干燥。

桌上型無氧烘箱 實驗高溫無氧固化爐供應商上海雋思儀器



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